表面粗糙度测量入门

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测量表面粗糙度的方法

随着纳米技术的发展，电子设备的性能要求越来越高，体积越来越小，测量部件和工业产品的表面粗糙度以及对所得数据进行定性管理的工作也越来越多。传统的触针式粗糙度仪旨在通过与被测表面修饰的机械接触来获取高度信息。这些装置可以大范围测量表面修饰的表面高度、特征和表面状况。

但随着制造工艺的不断改进，越来越多的软质样品（如薄膜）和小于触针式探针尖端的表面特征样品。这些重大进步带来了对从线性测量到精确面积测量的非接触式和无损测量技术的需求。

为了满足这些纳米级表面粗糙度测量需求，能够在自然状态下进行样品表面特征准确非接触3D测量的激光显微镜得以问世。

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表面粗糙度技术术语

原始轮廓曲线： 该轮廓曲线通过对测量到的原始轮廓应用截止值为λs的低通滤波器的方式而获得。

粗糙度轮廓： 该轮廓曲线通过对原始轮廓应用截止值为λc的高通滤波器以抑制长波长分量而获得。

波纹度轮廓： 该轮廓曲线通过对原始轮廓依次应用截止值为λf和λc的轮廓滤波器而获得。

采样长度： 用于确定轮廓特征的测量轴方向上的长度。

评估长度： 用于对所评估轮廓进行分析的测量轴方向上的长度。

轮廓法概念图

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